（一）能量需求
       臭氧处理工艺中的能量需求是指对电力的需求，主要的作用就是将氧转化为臭氧的能量，并在对配料气的准备、臭氧的接触和和尾气破坏上都需要电力上能量的提供，同时还包括在工艺处理仪表，检测设施上的使用。
 
（二）配料气的预备
       臭氧的发生是用空气、富氧空气或高纯度氧发生的。如果使用空气发生臭氧,在将它导入臭氧发生器以前,必须先去除湿气、颗粒物、油雾。如果不将这些杂质去除会对臭氧发生过程形成危害。
       同时，在对空气的改善上要做到以下几方面的内容：首先要将配料气中的空气进行压缩，并将压缩后的空气进行冷却和干燥，最后再将处理后的空气进行过滤。如果这里需要用到纯氧，那么则需要相应的针对纯氧的性质和要求来对步骤进行改善。
 
（三）臭氧发生
       由于臭氧化学性质不稳定,发生后很快分解成氧气,因此必须就地发生。当前最有效的生产臭氧的方法是放电法。在一个由高压电极和低压电极形成的电场区域内,当干燥氧气或空气流经过这个由电极和阻挡介电质形成了介电室时,在高电压/高密度电流作用下,氧分子在电子轰击下形成氧原子,氧原子和氧分子结合形成臭氧。
 
（四）臭氧接触
       由臭氧发生器产生出来的臭氧,需要一种臭氧接触反应系统将臭氧投入到污水中并使之与污水中的有机物、细菌、金属离子等进行化学反应及消毒生化反应过程。传统上常采用逆流挡板接触器,臭氧在第一室或者第三室加盖接触池中接触。臭氧用多孔扩散器或注射器由第一室底部引入。在第一室中发生快速臭氧反应,然后污水与臭氧的混合体进入第二室进行较缓慢的反应。第三反应室用以完成缓慢反应,并使臭氧得以分解。
 
（五）尾气破坏
       因为高浓度臭氧是一种特别刺激的气体。从接触器排出的尾气应进行收集并对所有的残余臭氧进行解析。