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臭氧消毒灭菌为一种先进的消毒灭菌剂，同较为常见的高温灭菌、化学药剂灭菌等比较均具有较多优势。

1、广谱灭菌
臭氧是一种广谱灭菌剂，短时间内可有效的灭杀大肠杆菌、蜡杆菌、巨杆菌、痢疾杆菌、伤寒杆菌、流脑双球菌、金黄色葡萄球菌、沙门氏菌以及流感病毒、肝炎病毒等多种微生物。
2、灭菌速度快
实验结果表明，当消毒剂浓度为0.3mg/L时，为到达99%的菌体灭活率，用臭氧只需1min。臭氧杀灭大肠杆菌的速率更快，当消毒剂浓度为0.9mg/L时，要到达99.99 %的消毒作用，臭氧只需0.5min。
3、无残留
臭氧的化学性质较为活跃，是一种不安稳的气体，易自行分解成氧气，无任何残留，无任何新的物质生成，不会构成二次污染，是非常洁净的消毒剂。特别是在饮用水灭菌消毒上，是一种有用高效而无害的途径。
4、无消毒死角
用臭氧消毒不用考虑有消毒死角，臭氧在通常状态下是一种气体，很容易扩散活动，所有与空气有触摸的当地都可起到很好的消毒作用。
5、无需高温处理
传统的高温灭菌技能是依托高温使菌体蛋白凝固，从而使菌体死亡，高温对食物的热敏性养分成分破坏很大，容易使食物自身所特有的风味有所丢失。臭氧是一种冷灭菌剂，是运用自身激烈的氧化作用使菌体死亡，很好的保留食物原有的色、香、味，使食物质量得到保证。
6、可脱臭、除味、脱色
臭氧是一种强氧化剂，进行水处理时能破坏使水产生异味的有机化合物和有色有机物，将亚铁和亚锰氧化成高价的不溶性氧化物，然后经过沉积和过滤除去，而且不会发作卤代烃类。
7、运用便利
运用臭氧进行消毒灭菌方法更为便利，且安全可靠。