对于臭氧发生器的选型，首先需计算出灭菌空间所需的臭氧总用量，计算公式如下： W= （V1+V2+V3）×0.01963÷（1‐61%） 
式中：W=臭氧总用量，单位：g/h
 V1=为洁净区空间体积； 
V2=为HVAC系统空间体积； 
V3=为保持洁净区正压所补充的新风和风压对臭氧造成的损失； 
V3的确定：根据若干使用臭氧发生器消毒灭菌的厂家实践，归纳出较为可靠的经验公式如下：V3≈HVAC系统循环总风量m3/h×25%（常规新风更换率）×10‐20%（保持洁净区正压补充的新风量）×39%（计算应用臭氧时臭氧半衰期的预算值），即V3=HVAC系统循环总风量×1~2%。 V3=风量×0.01十万级、三十万级； 0.015万级； 0.02百级 
V2=（V1+V3）×0.2 
0.01963≈0.02≈10ppm 十万级、三十万级， 0.03≈15ppm 万级， 0.04≈20ppm 百级       臭氧衰减率：1‐61%=0.39  
（注：新公式主用于风量较大，换气次数较高的洁净区）