在19世纪，人们发现臭氧对稻草、木材、淀粉、天然橡胶、植物色素、动植物油、脂肪、酒精等都有很强的氧化作用。1868年，人们用臭氧把煤焦油混合后将其氧化成适用于涂料、油漆使用的产品。1873年，欧洲把臭氧用作于亚麻漂白和食堂精制。一百多年来臭氧已在各领域得到应用。臭氧应用按用途分可分为化学氧化、水质处理、食品保鲜加工和医疗四个领域，这四个领域的研究应用与设备的开发都达到了相当高的水平。

       1902年，德国建立了世界上第一座臭氧水质处理的大规模水厂，开创了臭氧水处理的应用的先河，目前臭氧在欧美、日本、加拿大等发达国家的水厂应用已经达到普及的程度，纯净水、矿泉水厂家都已经采用臭氧处理设备。美国在70年代开始研究将臭氧用作污水处理，臭氧在污水中可做到杀菌消毒、脱色、去除污染物等功效，达到排放标准。日本则在缺水地区采用臭氧设备用于中水回收处理。近年来欧美国家和日本都建立了大规模的臭氧污水处理厂。另外，臭氧在工业各方面的应用也已普及，如石油、化工、造纸、纺织、制药行业。食品行业的臭氧应用则更为普遍，1904年欧洲就利用臭氧对牛奶、奶酪、肉制品等食品进行保鲜处理，美国早在20世纪30年代就在冷库中安装了臭氧发生器。目前臭氧在医疗方面有着多种用途，如手术室、病房消毒，用臭氧水对医疗器械消毒，牙科疾病治疗（口腔手术及保持口腔无菌），注射臭氧气体治疗瘘痔、静脉曲张，臭氧与放射理疗结合治疗癌症等。

       在制药、生物制品、遗传工程等行业可以利用臭氧对无菌场所环境消毒灭菌、净化空气，也可以对饮用水、生产用水、污水废水灭菌消毒，还可以对生产模具、工具器皿、反应釜贮罐和输液、输料、输气管道进行消毒，生产原料、包装材料、工作服等进行消毒，以此辅助制药行业通过GMP认证。

       在食品制造行业中，臭氧可以对原料消毒、成品保存、保鲜延长都起到作用。例如：冷库消毒；生产车间空气净化；蔬菜水果贮藏及防霉保鲜；矿泉水杀菌保质以及生产用水、生产工具、容器等的消毒。协助食品生产企业通过食品行业的GMP认定及HCCP体系的认证。